|
تاثير
گراديان دما بر روي قدرت تشخيص گاز ريزآرايه
سنسور ورق نازك اكسيد- فلز
خلاصه
اين مقاله نتايج مربوط به تاثير تغييرات دماي عملكرد ناهمگن فضايي بر
روي قدرت تشخيص گاز يك ريزآرايه سنسور- گاز را بررسي ميكند كه بر اساس
لايه نازك SnO2 بكار گرفته شده در دماغه الكترونيكي سيستم KAMINA ميباشد.
در اين خصوص، سه توزيع متفاوت دمايي بر روي زيرلايه مربوطه مورد بررسي
قرار ميگيرند: توزيع دماي تقريبا همگن و دو گراديان دمايي تقريبا
مشابه °c/mm3/3 و °c/mm7/6، كه در طول اجزاي سنسور آرايه اعمال شده است.
قدرت تشخيص گاز اين ريزآرايه توسط فاصلهMahalannobis در سيستم مختصات
LDA (آناليز تشخيص خطي) بين كلاسترهاي داده بدست آمده از طريق واكنش
ريزآرايه به چهار عنصر بخارشونده مقصد، اتانول ، استن ، پروپانول و
آمونياك، مورد بررسي قرار گرفت. نشان داده شده است كه كاربرد گراديان
دمايي قدرت تشخيص گاز ريزآرايه را تا 35% افزايش ميدهد.
كلمات كليدي: دماغه الكترونيكي، ريزآرايه سنسور گاز، ورقه نازك اكسيد
فلز.
مقدمه
تقاضاهاي روزافزوني براي
دستگاههاي سادهاي كه قادر به تقسيمبندي و تشخيص گازهايي كه معمولا
بودار يا معطر هستند وجود دارد. كاربردهاي زيادي براي دستگاههاي
بويايي اكترونيكي هم در زندگي روزمره و هم در صنعت وجود دارد. مثلا
كنترل كيفيت صنايع غذايي، امنيت و اطمينان آناليز هواي محيط، كيفيت
هواي داخلي يك ساختمان، مراقبتهاي بهداشتي، تشخيصهاي پزشكي و اهداف
دارويي...
آزمايش
آرايه ميكروحسگر گاز
KAMINA (GSMA)
ساخت CSMA مورد
استفاده در اين آزمايش شامل 4 مرحله است. مرحله اول رسوب فيلم حسگر
گاز از جنس SnO2=Pt توسط دستگاه الكترونپاشي ماگنترون r.f. با استفاده
از يك صفحه مشبك. هدف از اين كار ساخت پودر پرس شده SnO2 است
...
نتيجهگيري
آرايه حسگر گاز (GSMA)
بر اساس فيلم اكسيد فلز واحد ميباشد كه از شيب دمايي براي تشخيص گازها
استفاده ميكند...
|
